Sondergasversorgung

Heizmäntel für Gasleitungen

Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische. Gase wie z.B. BCL₃, SiH₂Cl₂, C₄F₈ und verschiedene andere neigen schnell zur Tropfenkondensation innerhalb der Versorgungsleitung, wenn Leitungsabschnitte durch kühlere Bereiche trassiert werden. Am Ende kann die Gasversorgung aufgrund von Kondensattropfen versagen. Sensible Spezialgase erfordern deshalb zunehmend ein gut entwickeltes und sorgfältiges Temperaturmanagement, das derartige Kondensationsprobleme unterbindet. Temperaturstabil beheizte Entnahmestellen und Leitungen sorgen für eine zuverlässige Versorgung bei Gasen wie z. B. Distickstoffoxid, Ammoniak oder Kohlendioxid.

Datenblätter:: Gasleitungen

Druckgasstationen und Entspannungspaneele

Bei der Versorgung mit Flüssiggasen können schnell Bereitstellungsprobleme auftreten, sobald die geforderten Entnahmemengen enge Massengrenzen überschreiten, was den Zusammenbruch der Prozessgas-Versorgung zur Folge hat. Durch den Einsatz von Heizmänteln für Druckgasflaschen kann die Verdampfungsenergie kompensiert und der Prozessgasfluss sicher aufrechterhalten werden. HEMI-Heater jackets für Druckgasflaschen sind hierfür die ideale Wahl. Durch ihr geringes Gewicht, ihre hohe Flexibilität und den Platz sparenden Einbau eignen sie sich ganz besonders für den Betrieb in den beengten Installationsräumen der Flaschenkabinette. Durch erstklassige Handhabbarkeit beim Flaschenwechsel wird zudem eine erhebliche Arbeitserleichterung für das Wartungspersonal erzielt.

Datenblätter:: gas_cylinder_heater.pdf

Druckregler

Probleme können aber auch unmittelbar nach der Entnahme von Gasen in Form von temperatursensiblen Entspannungseffekten auftreten. Durch derartige Effekte kann eine sichere Versorgung substantiell beeinträchtigt werden. Insbesondere dann, wenn die betriebenen Druckminderer durch die, bei der Druckreduzierung unvermeidbar auftretende, Entspannungskälte einfrieren und ihre Funktionsfähigkeit verlieren.