Produktmerkmale

Die benutzerfreundlichen HEMI-Heating Heizmanschetten sind bestens an die Bedingungen in Reinräumen angepasst und zeichnen sich durch spezielle Eigenschaften aus.
Durch die praxiserprobten Passformen für verschiedenste Größen und Geometrien und der flexiblen Konstruktion mit Klettverschluß gestaltet sich die Montage unkompliziert. Das Material des Außenmantels ist bis 200°C geeignet, hat hervorragende Partikeleigenschaften und ist weitgehend chemisch resistent. Die innere, mehrlagige Isolierung verbindet Flexibilität, hohe Isolationsleistung und minimalen Energiebedarf perfekt miteinander.

Perfekte Passform

HEMI Heater Jackets werden für Dimensionen von minimal 6 mm bis zur Zeit DN 160 angeboten. Die Beheizung von nahezu jeder geometrischen Form und von Sonderbauteilen ist realisierbar. Applikationen mit viertel und halb Zoll-Gas-Rohren gehören ebenso zur Standardreihe, wie heater jackets für Schieber, Drosselventile, Wellrohrschläuche und Flanschverbindungen. Auch komplizierteste Installationen aus Komponenten verschiedener Zulieferer lassen sich problemlos mit diesem einheitlichen Heizsystem ausstatten. Durch die Vermeidung von Kältebrücken, sogenannten cold-spots, erhöht sich die effektive Betriebszeit der Installation wesentlich. Die Flexibilität und gleichzeitige Stabilität der Konstruktion gewährleistet eine lange Einsatzdauer (zum Beispiel an Metall - Ätzprozessen mit 175°C und über 8 Jahren Dauerbetrieb).

Praxiserprobte Lösungen

Durch HEMI Heizsysteme lassen sich komfortabel hohe Rohrtemperaturen bis 200°C am Zielobjekt einstellen.
Damit können ausgesprochen gute Standzeiten der eingesetzten Rohrsysteme erzielt werden.
Dies zeigt sich zum Beispiel in den Abständen der Rohrreinigungen, sowie durch sehr geringe Partikelrückwirkungen aus den Prozessleitungen in die Bearbeitungskammern. Zyklen von 2,5 Jahren zwischen Rohrreinigungen werden von einigen unserer Kunden bereits erreicht.

Arbeitssicherheit bei hohen Grenztemperaturen

Durch die erstklassigen Isolationseigenschaften der Konstruktion können auf platzsparende und ökonomische Weise Temperaturen von bis zu 200°C am Zielobjekt realisiert werden. Selbst dann werden die Grenzwerte des Gerätesicherheitsgesetzes und die der vormaligen Unfallverhütungsvorschriften nicht überschritten. Zusätzliche Aufwendungen zum Berührungsschutz werden dadurch besonders bei sehr harten Prozessen eingespart.

Benutzerfreundlich

Dank der flexiblen, anpassungsfähigen Konstruktion und der praktischen Klettverschlußtechnik ist die Montage und Demontage der HEMI-Heating Heizmanschetten äußerst unkompliziert und zeitsparend. Die Schmutz abweisende PTFE - Beschichtung des Außenmantels gewährleistet eine einfache Reinigung, falls zum Beispiel Ablagerungen aus benachbarten Abgaswäschern auftreten sollten.

Spezialisiert für die Halbleiterindustrie

Heater jackets vom Typ HEMI-HJCL werden mittlerweile von fast allen großen Halbleiter Herstellern in Europa eingesetzt. Auch ausgewählte Forschungsinstitute und Anlagenhersteller geben den besonderen Eigenschaften der HEMI Heizungen mittlerweile den Vorzug. Darüber hinaus sind HEMI Heizungen in größerem Umfang in der Halbleiter Produktion in Südost-Asien im Einsatz. Die einstellbaren hohen Betriebstemperaturen sichern die Möglichkeit, auch in Zukunft sehr flexibel auf neue Prozesserfordernisse reagieren zu können.

Kompetenz im Reinraum

HEMI Heater Jackets verfügen über langzeitstabile Partikeleigenschaften. Diese haben selbst bei Dauerbetrieb mit Temperaturen bis zu 200°C Bestand. Die Langzeitstabilität der Konstruktion ermöglicht eine verlängerte Nutzungsdauer, ohne in Gefahr zu geraten, durch Degradation und Versprödung der Heizmanschetten die Partikellast an sensiblen Prozessanlagen zu vergrößern oder bereits nach 1,5 bis 2 Jahren wichtige Qualitätseigenschaften gänzlich zu verlieren. Im Feldvergleich wurden die Partikeleigenschaften untersucht und nach mehrmonatigem Gebrauch eindeutige Ergebnisse ermittelt.

Datenblätter:
hemi-hjcl.pdf

Energetisch vorteilhaft

Vergleich der Energieabstrahlung verschiederner Fabrikate von Heizmanschetten

Ein wesentlicher Vorteil der HEMI-Heating Heizsysteme ist ihr geringer Energiebedarf. Durch den mehrlagigen Sandwich-Aufbau, bestehend aus bis zu vier nur 6mm dicken Schichten Aramid-Fasern, erreichen die Heizmanschetten eine sehr hohe Anpassungsfähigkeit und Energieeffizienz. So sind die Anschlussleistungen nur etwa halb und der mittlere Leistungsbedarf weniger als halb so hoch, wie vergleichbare, komplett reinraumtaugliche Produkte am Weltmarkt. Dieses Qualitätsmerkmal eröffnet ein erhebliches Einsparpotential, besonders bei der Projektierung neuer Fertigungsstätten in denen viele, hoch beheizte und wartungsarme Vakuumverbindungen betrieben werden sollen. Einspareffekte folgen nicht nur aus dem geringeren laufenden Energieverbrauch, sondern bereits in der Ausrüstungsphase durch kleiner dimensionierbare Elektroverteilungen und Rückkühlaggregate vor allem im Pumpen-Bereich.

Für UHV Anwendungen

Insbesondere zum Ausheizen von UHV- und XHV-Komponenten besteht die Möglichkeit, die HEMI Heizmanschetten mit modifizierter Konstruktion bei Temperaturen bis 450°C einsetzen zu können. In diesem Fall können die außergewöhnlichen Partikeleigenschaften jedoch nicht mehr komplett eingehalten werden.

Große Bandbreite an Sicherheitsfunktionen

Eine ganze Reihe von Sicherheitselementen sind bereits standardmäßig in jedem gelieferten Heizungssystem konstruktiv beinhaltet. Diese betreffen sowohl die passgenaue geometrische Gestaltung der heater jackets, welche stets der Kundenanlage speziell angepasst gefertigt werden, als auch die verfügbaren Steuer- und Regeleinheiten (controller) der Danco-Technik. Regelungstechnisch besteht die Möglichkeit, aus einem gut gestaffelten Spektrum von Sicherheits- und Überwachungsfunktionen genau diejenige Ausstattungsoption wählen zu können, die für den jeweiligen kundenspezifischen Einsatzfall erforderlich und geeignet ist. So kann auch in komplizierten Installationen der Funktionserhalt jedes einzelnen der installierten heater jackets über process monitoring Systeme mit unterschiedlicher Komplexität permanent überwacht werden. Dadurch kann jede lokale Abkühlung rechtzeitig erkannt und behoben werden.